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金相顯微鏡
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金相顯微鏡

金相顯微鏡

    ZEISS

    ZEISS的Axio Imager Vario 專為研究、開發及質量控制領域中的樣品檢測而設計 – 從最小的 MEMS 傳感器到超大晶圓。最高可達 254 mm 的超大樣品空間和最寬可達 300 mm 的橫向縱向移動范圍,保證了在測量大樣品時不損壞樣品。一體的機柱設計確保了穩定性。在超凈室內檢測晶圓的應用中 – Axio Imager Vario 已通過 DIN EN ISO 14644-1 標準認證,并滿足超凈室等級 5 的要求。利用驅動 Z 軸的電動馬達與 Auto Focus 自動聚焦硬件,將低對比度的反射樣品自動調整至最佳聚焦位置,始終呈現最理想的檢測結果。
  • 資料說明

優點:

1、擴展樣品空間

兩種手動和一種電動機柱可供選擇,充分利用顯微鏡最大 300 mm 橫向與縱向移動距離和最高254 mm 垂直深度的優勢。無論是檢測較重的樣品,或與 LSM 700 激光掃描顯微鏡組合使用 –結實的機柱使其具有穩定性高和無震動的特點。選擇適用于反射光與透射光的各種載物臺及樣品夾,讓您的應用擴展無極限。

2、認證的超凈室組件

晶圓和光掩模檢測對潔凈度要求均十分嚴格。、Axio Imager Vario 已通過 DIN ENISO14644-1標準認證,其超凈室組件能滿足超凈室等級 5 的要求。多種附件可選,如配有顆粒保護罩和防噴嚏保護罩的 7 孔物鏡轉盤, 能有效保證樣品持續潔凈,充分發揮機器性能。

3、隨時實現精準自動聚焦

集成有 Auto Focus 快速自動聚焦硬件系統的Axio Imager Vario 可用于高射、低對比度樣品的表面檢測。聚焦系統能夠保證聚焦精度達到所使用物鏡景深的 0.3 倍,且適用于反射光與透射光應用。當傳感器檢測到聚焦位置發生微小變化時,系統快速自動補償偏差。即便是大尺寸樣品,在 XY 方向上也能實現精準聚焦。

 

應用領域

ZEISS Axio Imager Vario 與 ZEISS LSM 700組合使用

 Axio Imager Vario 與 LSM 700 組合使用開啟應用新境界。尤其針對需要高分辨率解析、無接觸式分析的樣品。光學分辨率可達 120 nm 線寬左右。使用 LSM 700 能夠精確的檢測與定位納米級的表面缺陷。兩者組合使用則可以對激光絕緣刻槽(激光刻蝕)及薄膜太陽電池表面進行形貌檢測,從而更精確地測定激光刻槽和表面粗糙度。另一個典型應用是檢測晶體硅太陽電池銀漿的表面形貌,并依據檢測結果來評估絲網印刷的質量

 

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