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金相显微镜

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    ZEISS

    ZEISS的Axio Imager Vario 专为研究、开发及质量控制领域中的样品检测而设计 – 从最小的 MEMS 传感器到超大晶圆。最高可达 254 mm 的超大样品空间和最宽可达 300 mm 的横向纵向移动范围,保证了在测量大样品时不损坏样品。一体的机柱设计确保了稳定性。在超净室内检测晶圆的应用中 – Axio Imager Vario 已通过 DIN EN ISO 14644-1 标准认证,并满足超净室等级 5 的要求。利用驱动 Z 轴的电动马达与 Auto Focus 自动聚焦硬件,将低对比度的反射样品自动调整至最佳聚焦位置,始终呈现最理想的检测结果。
  • 资料说明

优点:

1、扩展样品空间

两种手动和一种电动机柱可供选择,充分利用显微镜最大 300 mm 横向与纵向移动距离和最高254 mm 垂直深度的优势。无论是检测较重的样品,或与 LSM 700 激光扫描显微镜组合使用 –结实的机柱使其具有稳定性高和无震动的特点。选择适用于反射光与透射光的各种载物台及样品夹,让您的应用扩展无极限。

2、认证的超净室组件

秒速时时彩晶圆和光掩模检测对洁净度要求均十分严格。、Axio Imager Vario 已通过 DIN ENISO14644-1标准认证,其超净室组件能满足超净室等级 5 的要求。多种附件可选,如配有颗粒保护罩和防喷嚏保护罩的 7 孔物镜转盘, 能有效保证样品持续洁净,充分发挥机器性能。

3、随时实现精准自动聚焦

集成有 Auto Focus 快速自动聚焦硬件系统的Axio Imager Vario 可用于高射、低对比度样品的表面检测。聚焦系统能够保证聚焦精度达到所使用物镜景深的 0.3 倍,且适用于反射光与透射光应用。当传感器检测到聚焦位置发生微小变化时,系统快速自动补偿偏差。即便是大尺寸样品,在 XY 方向上也能实现精准聚焦。

 

应用领域

ZEISS Axio Imager Vario 与 ZEISS LSM 700组合使用

 Axio Imager Vario 与 LSM 700 组合使用开启应用新境界。尤其针对需要高分辨率解析、无接触式分析的样品。光学分辨率可达 120 nm 线宽左右。使用 LSM 700 能够精确的检测与定位纳米级的表面缺陷。两者组合使用则可以对激光绝缘刻槽(激光刻蚀)及薄膜太阳电池表面进行形貌检测,从而更精确地测定激光刻槽和表面粗糙度。另一个典型应用是检测晶体硅太阳电池银浆的表面形貌,并依据检测结果来评估丝网印刷的质量

 

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